在半导体芯片生产领域中,仅次于硅片耗材的电子特种气体成为决定芯片成品率的关键,特种气体广泛应用在工业生产过程中的工业气体,包括薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积等方面,对电子产品的生产起到关键的作用,是名副其实的“电子工业的血液”。