光刻机被卡，当中国芯片突围战遭遇了瓦森纳协议

 

       儿子最近迷上了墨菲定律，简单来说就是“怕什么就来什么”。所以这成了他努力的动力源之一，怕老师提问，所以要提前好好准备。

 

当前，中国的伟大复兴到了最后的爬坡阶段，而芯片突围战无疑是其中最艰难的关口，我最担心的两个环节，一个是台积电，一个是光刻机。

然而昨天，墨菲定律再次应验，那就是光刻机环节出了问题。世界唯一的先进光刻机供应商ASML近日宣布，推迟向中芯国际交付极紫外光刻机（EUV）。

 

光刻机是芯片制造的核心设备之一，没有光刻机，无论多么先进的电路设计，只能停留在图纸上。而EUV光刻机能否如期交货，直接牵涉到中芯国际的工艺能否进入7纳米。

目前，中芯国际经过苦苦追赶，投入了上百亿美元的研发经费，已经成功攻克了14纳米工艺，并且已经实现量产，可以满足大部分芯片的生产。

但是如果再提升工艺制程到10纳米以内，那么中芯国际手里现有的光刻机（DUV）已经满足不了精度要求了，必须要购进更先进的EUV光刻机。

2018年初，贸易战突然爆发，中兴瞬间被KO，中芯国际也感受到了空前危机，所以在2018年5月，以1.2亿美元的价格，向ASML订购了一台EUV光刻机。

这台光刻机原定于2019年初交付，结果2018年12月临近交货，ASML突然着了一场大火，很多元件及生产线被毁，2019年的供货被顺延，中芯国际的货被延期到了年底。

 

然而快到年底了，EUV再生变故，要推迟交付。原因是什么？日媒给出的原因是——ASML受到了来自美国的压力。

但是ASML很快把这锅甩给了荷兰政府。说2019年6月就递交了出口申请，但是迟迟未能得到荷兰政府的批复。

那么问题来了，全球化时代，一个荷兰公司向中国出口商品，为什么要得到荷兰政府的批准呢？这就不得不提瓦森纳协定（又名瓦森纳协议，瓦森纳安排）。

瓦森纳协定是当今世界上管制常规军品和两用（军用和民用）物项和技术的唯一的多边机制，成员包括世界主要武器生产国和出口国，对非会员国实行出口限制。

瓦森纳协定的前身，是成立于1949年的巴黎统筹委员会，简称巴统，是美国撺掇其北约盟友建立起来的出口管制机构，管制对象主要是苏联社会主义集团和新中国。

从名字上来看，巴统设在巴黎，但实际上设立在美国驻法大使馆的一角，是美国主导的进行技术冷战的主要工具，管制清单基本跟美国的出口管制标准如出一辙，美国拥有否决权。

虽然巴统被美国绑架，但是内部并非铁板一块，盟友们禁不住经济诱惑，不愿意执行过于严厉的出口管制标准。

比如挪威，虽然也是北约国家和巴统成员，但也禁不住利润的诱惑，悄悄地向苏联提供火炮自动瞄准计算机等多项违禁技术交易。

还有日本，也禁不住暴利的诱惑，向苏联出口高精度机床。这就是冷战期间，对西方国家安全危害最大的军用敏感高科技走私案件之一———东芝事件。

东芝公司禁不住苏联的高价诱惑，向苏联出口了四台先进的数控机床，帮助苏联大大降低了潜艇的噪音。事发之后，东芝遭到了美国的严厉制裁。

苏联解体后，冷战结束，世界形势缓和，巴统的主要对象已经不复存在了，巴统存在的意义也大打折扣。

由于世界形势缓和，各国都大幅度削减军费，军火销售遭遇断崖式下跌，军工企业吃不饱，所以只能拼命瓜分国际市场，加上大家对美国滥用否决权的不满，所以迫不及待要求解散巴统。

这时候，俄罗斯的叶利钦一边倒地倒向了西方，所以美国挑头，跟俄罗斯以及自己的几个主要盟友——英、法、德等国，商量一个新的出口管制机制，来代替巴统。

这个新机制就是瓦森纳协定，经过三年争吵之后，于1996年在奥地利的维也纳成立，创始会员国高达33个。

由于吃够了美国否决权的苦，所以大家在新机制上都一致抗美，最终美国不得不放弃了否决权，由各国自主决定是否出口相关物品和技术。

但是美国还留了一手，那就是通过信息交流程序，及时掌握全球的先进武器和先进技术走向，必要的时候通过各种外交手段，进行施压或者阻挠。

第一，成员国向非成员国出口管制清单中的项目，事后应当详细通报相关信息，包括出口对象、物品数量、收货人信息、最终用途等。如果拒绝了出口申请，也要通报。

第二，非成员国向成员国发起并购活动时，成员国也应当进行信息通报，包括购买方公司的信息、收购途径和获取办法、专门技术的使用信息，是否为敏感的最终用户、并购结果等。

也就是说，俄罗斯向中国出售苏27、苏30、苏35战机以及S400防空导弹系统时，按照瓦森纳协议的规定，事后俄罗斯是要通报的，具体数据真不真实就不得而知了。

虽然说许可证由当事国自主决定，但是各个国家除了俄罗斯，都得唯美国马首是瞻，不然得罪了美国没有好下场，美国得到情报会使用外交手段施压。

2004年1月，捷克批准了向中国出口价值6000万美元的维拉雷达系统许可证，这个项目谈了好几年，双方都很满意。

结果到了2004年的5月19日，捷克突然取消了这笔交易，并解释说是应“伟大朋友”的要求而做出的决定，说该雷达能帮助中国探测到美国的隐形飞机。

几天后，美国国务院证实，说美国的确与捷克政府讨论了中国问题，并且为捷克做出这个决定而感到高兴，这决定遵守了欧盟在武器出口方面的禁令。

 

2006年，我国与意大利的阿莱尼亚空间公司，签署了帮助意大利发射卫星的协议。美国得知后，向意大利进行外交施压，最后意大利没办法，取消了已经签好的协议。

 

瓦森纳协定的成员国目前有42个：欧洲大部分国家，包括俄罗斯、乌克兰、土耳其、立陶宛，以及亚洲的日本、韩国和印度，还有南非、阿根廷、澳大利亚和新西兰等。

 

简单来说，瓦森纳协定成员国，就是整个发达国家和准发达国家，或者稍稍微有点工业底子的发展中国家（印度、墨西哥）。

可以说瓦森纳协定成员国，锁定了人类的几乎所有的先进技术。也就是说这个瓦森纳协定之外，除了制造业增加值占地球29%的中国以外，几乎都是落后的农业国。

瓦森纳协定按照扩散风险的大小，及其安全关切程度，将出口目的国（或地区）分为五个组别，中国被列在D等级，仅仅优于E级的叙利亚、苏丹、古巴、伊朗和朝鲜等国。

由此可以看出，在苏联解体之后，美国主导的瓦森纳协定，几乎就是针对中国的，沉重地打击了气焰一度嚣张的“造不如买、买不如租”的国内买办势力。

简单来说，如果欧洲让我们用伽利略系统，我们可能就没了北斗；如果美国不限制黑鹰直升机，我们可能就没了直20；如果美国不限制F22或F35，我们可能就没了歼20。

美国主导的瓦森纳协定，帮助中国军工企业争取到了大量经费，也成了中国高科技企业的保护伞，没有他们的禁运，国内的高科技可能都发展不起来。

还是太祖的那句话：让他们封锁吧，封锁个十年八年，中国的所有问题都解决了。

为啥中国的汽车行业不发达？我看主要是因为他们不限制出口，我们能买得到。

美国主导的瓦森纳协定，给我们带来了大量的贸易顺差。他们这不卖、那不卖，导致了中美、中欧贸易失衡，中国积攒了大量的外汇储备。

美国主导的瓦森纳协定管制清单，其实就是中国的一个任务清单，只要把列表中的任务完成，中国就打了通关，挑战成功，荣升擂主。

回到集成电路领域，其实在上世纪80年代，我们的技术并不是那么落后，但是国外的公司禁不住利润的诱惑，杀入了中国市场，中国原有的电子工业体系，被冲得七零八落。

比如上世纪80年代，由于西方对中国EDA领域软件出口上的限制，国内的芯片设计行业面临了严重的危机。

1986年，国家动员全国17家单位，200多位专家齐聚原北京集成电路设计中心，开发自己的EDA系统，并将其命名为“熊猫系统”。

熊猫EDA系统1993年面试，并且获得了国家科技进步一等奖，使中国成为国际上为数极少的可以提供自主知识产权EDA工具的国家之一。

然后一看中国有了自己的EDA工具了，美国就放开了出口限制，最后熊猫EDA系统市场逐渐被压缩，国产EDA的发展陷入了停滞阶段。

再说光刻机。1977年，我国最早的光刻机GK-3型半自动光刻机在上海光学机械厂诞生，这是一台接触式光刻机，这时候光刻机巨头ASML还没出现。

1982年科学院109厂的KHA-75-1光刻机，在当时的水平并不低，最保守估计跟当时最先进的Canon光刻机相比，差距最多也就不到4年。

 

然而到了80年代后期，随着改革开放的深入，一大批企业纷纷以“贸工技”为指导思想，抛弃了“独立自主，自力更生”的指导方针，盲目对外开放。

这时中国的集成电路产业，没有顶层设计，在科研、教育以及产业方面出现了严重脱节，中国独立的科研体系和产业体系被摧毁，产业变成了组装厂，软件工程变成了廉价码农。

由于90年代的外交三大耻，中国重新认识到自主创新的重要性，所以中国的半导体产业自主意识再次苏醒，再次走上了追赶世界先进水平的道路。

中星微的邓中翰于1999年回国，中芯的张汝京于2000年来到大陆，展讯的武平和陈大同于2001年回国，芯原股份的戴伟民于2002年回国，兆易电子的朱一明于2004年回国……

2002年，上海微电子承担了十五规划中光刻机的攻关项目。至2016年，上海微电子已经量产90纳米，65纳米正在进行测试，2020年要拿下28纳米的工程样品机。

2018年还有个好消息，成都光电所采用了表面等离子体（SP）光刻技术，研制了一台新型光刻机，光刻分辨率达到了22纳米，结合多重曝光技术，可以加工10纳米级别的芯片。

但这技术目前还不成熟，不适合量产，目前只能加工特种芯片，大家不要抱太大希望。总之，在光刻机技术上，与国外先进水平至少有三四代的差距。

一个比较有利的消息，随着物理尺寸的极限，摩尔定律逐渐失效了，领跑团队进步的步伐慢了下来，给了我们追击的好机会。

但是在这期间，我们不得不依赖荷兰的ASML光刻机。荷兰能不能抗住压力呢？我感觉很困难，因为EUV光刻机中，核心装置——激光光源和激光器电源都来自美国。

而这些器件，均受到美国出口管制。也就是说ASML也不得不看美国的脸色，要得到美国出口许可。

目前ASML说是推迟到了2020年交付，但是夜长梦多，形势依然不乐观，只要是没有到货，还会有诸多变数。

EUV光刻机不到货，中芯国际只能止步14纳米工艺，那么国内的先进芯片的制造，只能依赖台积电了。

因此，当前的局势，必须充分考虑各种困难，做好最坏的打算。长远角度看，必须加快国产光刻机的研发，从根本上解决卡脖子的问题。

而眼下，应该着力于对美国的反制措施，比如稀土、数字货币、不可靠实体清单，让美国不敢轻易打光刻机牌和台积电牌。

写到这里我感慨万千。此次时刻，我只想替伟大祖国说一句话：我太难了！

在这样的背景下，中国的高科技能追成这样，实属不易，中国伟大复兴成色十足！

本文原载微信公众号“超级学妈”